Project/Area Number |
23K22649
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
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Research Institution | University of Hyogo |
Principal Investigator |
豊田 紀章 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (00382276)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
竹内 雅耶 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (70889683)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥4,810,000 (Direct Cost: ¥3,700,000、Indirect Cost: ¥1,110,000)
Fiscal Year 2024: ¥4,810,000 (Direct Cost: ¥3,700,000、Indirect Cost: ¥1,110,000)
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Keywords | クラスタービーム / 原子層エッチング / 高精度加工 |
Outline of Research at the Start |
超高精度形状創成技術は,微細加工の精度や測定分解能を向上させるための基盤技術として重要性が増している。これまで,低損傷で平坦化効果を有するガスクラスターイオンビーム(GCIB)の照射位置と照射量を制御することで,高精度形状創成技術の開発を進めてきた。しかし,各位置での除去量をGCIB照射時間で制御しているため,広く利用されている単原子イオンビームやプラズマを用いた場合と同様にオーバーエッチングの問題があった。そこで,GCIBによる除去量を照射時間の制御ではなく,表面を一層ずつ除去する原子層エッチングのサイクル数で制御することにより,オーバーエッチングの問題を解決する。
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