Project/Area Number |
23K22704
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 20010:Mechanics and mechatronics-related
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Research Institution | Toyama Prefectural University |
Principal Investigator |
下山 勲 富山県立大学, 工学部, その他 (60154332)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
野田 堅太郎 富山県立大学, 情報工学部, 講師 (00547482)
塚越 拓哉 富山県立大学, 情報工学部, 准教授 (90782920)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Fiscal Year 2024: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
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Keywords | MEMS / シリコンピエゾ抵抗 |
Outline of Research at the Start |
本研究は、シリコン材料を用いたピエゾ抵抗型歪ゲージをもつカンチレバー型力センサ(圧力感度:4.3×10-3 Pa-1、最小力分解能:1 pN、周波数帯域:~100MHz)の寸法をnmオーダーまで小さくすると特性がどうなるのかという問いに、実験的・理論的根拠のある答えを与える。ピエゾ抵抗の歪抵抗効果を決定づけるキャリアの密度は、単結晶シリコンの原子密度に比べて4~5桁小さく、カンチレバーを極限まで小さく薄くすると、バルクの歪抵抗効果を維持できなくなり、また材料の境界面の表面効果の影響が表れると考えられる。本研究では微小寸法のカンチレバーのピエゾ抵抗効果を実験的に確かめ、計算とも比較する。
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