Project/Area Number |
23K22768
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 21030:Measurement engineering-related
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Research Institution | Osaka University |
Principal Investigator |
若家 冨士男 大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 准教授 (60240454)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
村上 勝久 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20403123)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2026-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2025: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2024: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
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Keywords | 磁気力顕微鏡 / 半導体不純物濃度 / 非接触計測 |
Outline of Research at the Start |
磁気力顕微鏡(MFM) は,プローブ顕微鏡の一種であり,通常は磁性体の表面のもれ磁場を検出して可視化するための用いられる。しかし,本研究ではMFMを非磁性の半導体を計測するために用いる。本研究の目的は,(1)MFM を用いて,不純物半導体のキャリア密度(不純物濃度)をナノメートル分解能で,非接触で測定する手法を確立すること,(2)その検出限界や空間分解能を明らかにすること,の2つである。この目的を達成するため,振動する磁性体と導電性物質の相互作用の理論を構築し,数値シミュレーションを行う。それらから求められたシーケンスを実現する装置を開発する。
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