Project/Area Number |
23K22822
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
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Research Institution | Waseda University |
Principal Investigator |
小西 毅 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (90283720)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
植之原 裕行 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (20334526)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2024: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
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Keywords | 非線形光学効果 / シリコンフォトニクス / 構造モデリング / データ同化 |
Outline of Research at the Start |
本研究では,シリコンフォトニクスにおける光デバイスの品質検査のために必要不可欠な構造評価について,SEMやAFMなどを用いた方法とは全く異なる新しいアプローチの開拓を“目的”とする.シリコン光デバイスの現在の構造評価技術の高速化に対して,初めて着想した光の非線形伝播による全く異なる構造評価アプローチの可能性を検証し、特に,光パルスの非線形伝播とともに履歴として位置情報を保持して構造情報が逐次蓄積される非線形スペクトル変化に着目した独自の方法の有用性を明らかとすることを具体的な目的とする.
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