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2次元構造秩序の自己組織化に着目した濃厚環境下の強誘電体薄膜成長メカニズム

Research Project

Project/Area Number 23K23031
Project/Area Number (Other) 22H01763 (2022-2023)
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeMulti-year Fund (2024)
Single-year Grants (2022-2023)
Section一般
Review Section Basic Section 26020:Inorganic materials and properties-related
Research InstitutionKumamoto University

Principal Investigator

木口 賢紀  熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 (70311660)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 白石 貴久  熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 准教授 (50758399)
内田 寛  上智大学, 理工学部, 教授 (60327880)
Project Period (FY) 2022-04-01 – 2025-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help
¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000)
Fiscal Year 2024: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2023: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2022: ¥9,490,000 (Direct Cost: ¥7,300,000、Indirect Cost: ¥2,190,000)
Keywords強誘電体 / 濃厚環境結晶成長 / 核生成 / 界面構造 / 局所配位構造 / 強誘電体薄膜 / 結晶成長 / 核生成・成長 / 2次元構造秩序 / PZT / 配位子場 / STEM-EELS / 化学溶液堆積法 / 濃厚環境 / 導電性 / 格子ミスマッチ / 薄膜 / 二次元成長
Outline of Research at the Start

2次元構造秩序の自己組織化現象に着目し、原料溶液や非晶質前駆体の局所構造と熱分解過程における構造秩序の発達、基板表面構造との相互作用、残留歪みの観点から、2次元構造秩序の自己組織化メカニズムを明らかにする。また、2次元構造秩序が固相エピタキシーや組織形成に及ぼす効果を調査する。本研究成果から、これまで理解が不十分であった濃厚環境下におけるエピタキシャル成長メカニズムの学理を究明し、CSD法による強誘電体薄膜成長プロセスを見直すことによって、ドメイン構造や共存組織を原子スケールで制御し、薄膜の低温成長と特性向上のための指導原理の確立を目指す。

Outline of Annual Research Achievements

初年度の作成した非晶質前駆体薄膜と、SrTiO3(001)基板上にCube-on-cubeの方位関係でエピタキシャル成長した結晶化薄膜について、STEM-EELS法によりTi-L2,3及びO-Kエッジ近傍の内殻励起スペクトルによるエネルギー損失吸収端微細構造(ELNES)の測定・解析を行った。
まず、Ti-L2,3エッジのELNESについて述べる。Ti-L2,3エッジは、配位環境の対称性によってどのように5重に縮退したd軌道がどのように解けるかを示しており、BO6(B:Ti,Zr)型のOh対称場の下ではt2gとegに帰属されるピークに分裂する。ここで着目すべきは、非晶質の段階で既にt2gとegに分裂したOh場、つまりBO6型の配位構造が形成されていることである。特に、配位子場分裂幅に着目すると、非晶質相は菱面体晶もしくは擬立方晶的な配位構造、結晶化した界面層は正方晶に類似した配位構造をとることが明らかになった。
すなわち、非晶質前駆体形成段階にて、Oh対称場を持つBO6(B:Ti,Zr)型のクラスターが形成されていることを示唆していることが初めて明らかになった。
次に、O-KエッジのELNESについて述べる。O-K ELNESは、3つの主要ピークから構成され、吸収端側からTi3d(Zr4d)-O2pの混成、Pb6p-O2pの混成を示し、非晶質の段階でこれらの化学結合ができている。したがって、非晶質薄膜内では、Oh対称場を持つBO6(B:Ti,Zr)クラスターがOを介してPbと結合を作っており、ペロブスカイト型構造の前駆状態となっていることを示す。一方、第3ピークはO-O原子間距離の広い分布を示し、不均一に歪んだBO6八面体が不均質に繋がった短距離秩序構造を持つと考えられる。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

CSD法を利用した濃厚環境下におけるPZT薄膜の結晶成長メカニズムのうち、本年度は2次元構造秩序構造やそれを核生成サイトとしてエピタキシャル成長する微視的なメカニズムについて走査透過電子顕微鏡及び電子エネルギー損失分光法により、明らかにできた。
特に、非晶質層における構造秩序の発達に関する知見や2次元構造秩序構造における僅かな歪み状態を配位子場分裂の視点から解明できたのは大きな進捗である。

Strategy for Future Research Activity

次年度は、結晶化に伴う局所配位構造の変化、基板表面構造やZr/Ti組成比が核生成・成長、ドメイン構造など薄膜組織に及ぼす影響について微視的な視点から検証する。

Report

(2 results)
  • 2023 Annual Research Report
  • 2022 Annual Research Report
  • Research Products

    (6 results)

All 2024 2023 2022

All Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 3 results) Presentation (3 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Novel Route for Enhancing Piezoelectricity of Ferroelectric Films: Controlling Nontrivial Polarization States in Pb(Zr, Ti)O3 Monodomain Superlattice Structure2024

    • Author(s)
      Song Jundong、Ebihara Youhei、Yudin Petr、Sakata Osami、Morioka Hitoshi、Kiguchi Takanori、Kondo Shinya、Yuan Xueyou、Okamura Soichiro、Yoshino Masahito、Nagasaki Takanori、Yamada Tomoaki
    • Journal Title

      ACS Applied Materials & Interfaces

      Volume: 16 Issue: 13 Pages: 16145-16151

    • DOI

      10.1021/acsami.3c18721

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Strain as a Global Factor in Stabilizing the Ferroelectric Properties of ZrO22023

    • Author(s)
      Xu Bohan、Lomenzo Patrick D.、Kersch Alfred、Schenk Tony、Richter Claudia、Fancher Chris M.、Starschich Sergej、Berg Fenja、Reinig Peter、Holsgrove Kristina M.、Kiguchi Takanori、Mikolajick Thomas、Boettger Ulrich、Schroeder Uwe
    • Journal Title

      Advanced Functional Materials

      Volume: 34 Issue: 8

    • DOI

      10.1002/adfm.202311825

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Structural evolution of epitaxial CeO2-HfO2 thin films using atomic-scale observation: Formation of ferroelectric phase and domain structure2022

    • Author(s)
      Shiraishi Takahisa、Choi Sujin、Kiguchi Takanori、Konno Toyohiko J.
    • Journal Title

      Acta Materialia

      Volume: 235 Pages: 118091-118091

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2022.118091

    • Related Report
      2022 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 固相エピタキシーによるPb(Zr,Ti)O3薄膜成長メカニズム のSTEM-EELS 解析2023

    • Author(s)
      木口賢紀, 内田寛, 白石貴久
    • Organizer
      日本金属学会2023年秋期講演大会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] STEM観察の基本原理と強誘電体薄膜のナノ組織解析 ー結晶内部の電子の伝わり方を考えるー2023

    • Author(s)
      木口賢紀
    • Organizer
      強的秩序とその操作に関わる第17回夏の学校
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 金属酸化物テンプレート上における化学溶液堆積法由来PZT薄膜の結晶成長機構の解明2023

    • Author(s)
      内田 寛, 山崎佑介, 横田幸惠, 島 宏美, 白石貴久, 木口賢紀, 舟窪 浩
    • Organizer
      日本セラミックス協会電子材料部会 第43回電子材料研究討論会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report

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Published: 2022-04-19   Modified: 2024-12-25  

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