Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
本研究は,分子ふるいシリカ膜を常温常圧で超高速に形成できる革新的製膜技術である大気圧プラズマCVDによる,シリカ膜構造の精密制御法の開発と分離系に応じたカスタムメイドな製膜を実現することを目指すものである。種々の反応条件が得られるシリカ膜の微細孔構造に及ぼす影響を系統的に明らかにすることで,細孔径制御技術を確立するとともに,膜形成とエッチングの動的平衡を利用した超薄膜製膜を可能とすることで,分離系に応じたシリカ膜の設計を可能とする。