Project/Area Number |
23K23192
|
Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
|
Research Institution | Tohoku University |
Principal Investigator |
田中 秀治 東北大学, 工学研究科, 教授 (00312611)
|
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
塚本 貴城 東北大学, 工学研究科, 准教授 (70646413)
|
Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
|
Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
|
Budget Amount *help |
¥6,240,000 (Direct Cost: ¥4,800,000、Indirect Cost: ¥1,440,000)
Fiscal Year 2024: ¥6,240,000 (Direct Cost: ¥4,800,000、Indirect Cost: ¥1,440,000)
|
Keywords | 共振子 / MEMS / センサー / モード局在化 |
Outline of Research at the Start |
2自由度MEMS共振子のモード制御の方法論として、付加的マスを用いた2+1マスMEMS共振子について研究を行う。理論検討とシミュレーションに基づいてデバイスを試作し、その基礎特性とモード制御性を明らかにする。また、2自由度MEMS共振子のモード制御によって実現できるモード局在化現象についても、その基礎特性を実験的に明らかにし、さらにそのセンシング応用を目指した発展的研究を行う。
|