Project/Area Number |
23K23255
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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Allocation Type | Multi-year Fund |
Section | 一般 |
Review Section |
Basic Section 30020:Optical engineering and photon science-related
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Research Institution | Shizuoka University |
Principal Investigator |
小野 篤史 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (20435639)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石飛 秀和 大阪大学, 大学院生命機能研究科, 准教授 (20372633)
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Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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Budget Amount *help |
¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2024: ¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
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Keywords | 非線形光学 / レーザープロセシング / ナノ光工学 / 表面プラズモン |
Outline of Research at the Start |
金属ナノパターニング技術は,電子デバイスの微細電極形成技術としてだけでなく,近年光学分野にて注目されているプラズモニックデバイスや,メタサーフェスなどの金属ナノ構造を作製するための基盤技術として重要である.研究代表者らは,金属ナノパターニング技術として,電子線リソグラフィや真空蒸着などの真空プロセスが不要で,かつフォトマスクが不要なレーザー光還元反応によるパターニング技術を新たに開発した.パターニングにおいて,光強度分布だけでなく偏光分布も微細化に寄与していることを突き止めたため,光強度と偏光制御による新たな金属ナノパターニング技術の確立を目指す.
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