3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

• Project/Area Number: 23K26008
• Project/Area Number (Other): 23H01313 (2023)
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund (2024); Single-year Grants (2023)
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30283724) ; 増井 周造 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任助教 (00909939) ; 門屋 祥太郎 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60880234)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2026-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,720,000 (Direct Cost: ¥14,400,000、Indirect Cost: ¥4,320,000); Fiscal Year 2025: ¥4,940,000 (Direct Cost: ¥3,800,000、Indirect Cost: ¥1,140,000); Fiscal Year 2024: ¥6,890,000 (Direct Cost: ¥5,300,000、Indirect Cost: ¥1,590,000); Fiscal Year 2023: ¥6,890,000 (Direct Cost: ¥5,300,000、Indirect Cost: ¥1,590,000)
• Keywords: 光周波数コム / 計測基準点 / 内面構造 / 回折格子 / 内面形状 / 計測理論 / 寸法計測

Outline of Research at the Start

本研究は、内面構造の寸法・形状を高精度に計測する原理の確立を目指すものである。3次元形状計測において、基準点は不動であるべきであるが、現実的には揺らぎ、それが計測不確かさにつながる。そこで、内面構造の狭空間においてこの座標原点の揺らぎをナノスケールで計測しつつ、測定面までの形状を超高精度に計測することで超高精度な内面構造計測を実現する。そこで、本課題では、2重周期回折格子を用いた計測基準点の測定原理および光周波数コムを用いた高精度測距原理を確立し、最終的に高精度な形状計測手法の確立を目指す。