Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
本研究は、内面構造の寸法・形状を高精度に計測する原理の確立を目指すものである。3次元形状計測において、基準点は不動であるべきであるが、現実的には揺らぎ、それが計測不確かさにつながる。そこで、内面構造の狭空間においてこの座標原点の揺らぎをナノスケールで計測しつつ、測定面までの形状を超高精度に計測することで超高精度な内面構造計測を実現する。そこで、本課題では、2重周期回折格子を用いた計測基準点の測定原理および光周波数コムを用いた高精度測距原理を確立し、最終的に高精度な形状計測手法の確立を目指す。