Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
ナノからサブミクロン精度を有する超微細な立体造形法の開発は電子デバイスやMicroelectromechanical Systems(MEMS)のプロセスにおいて大変重要な課題である.本研究では金属ナノ微粒子を基板上に堆積させる微細立体造形法であるレーザー支援電気泳動堆積法(研究代表者の独自技術)において,堆積中の集光スポットを顕微計測して加工速度を最適制御する手法を開発する.本手法により,加工中の堆積途切れが生じない高い加工成功率での微細立体造形法を確立する.本手法は微細デバイスを低コストで試作可能な次世代の革新的な超精密加工法となり得る .