集光スポット顕微計測による加工速度制御を用いたレーザー支援電気泳動堆積法の開発

• Project/Area Number: 23K26012
• Project/Area Number (Other): 23H01317 (2023)
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund (2024); Single-year Grants (2023)
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
• Research Institution: Shizuoka University
• Principal Investigator: 岩田 太 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 中澤 謙太 静岡大学, 工学部, 助教 (50824520) ; 中尾 秀信 国立研究開発法人物質・材料研究機構, エネルギー・環境材料研究センター, 主幹研究員 (80421395)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2026-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,850,000 (Direct Cost: ¥14,500,000、Indirect Cost: ¥4,350,000); Fiscal Year 2025: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000); Fiscal Year 2024: ¥6,760,000 (Direct Cost: ¥5,200,000、Indirect Cost: ¥1,560,000); Fiscal Year 2023: ¥8,450,000 (Direct Cost: ¥6,500,000、Indirect Cost: ¥1,950,000)
• Keywords: 走査型イオン伝導顕微鏡 / 電気泳動堆積 / ナノ微粒子 / レーザートラップ / アディティブマニュファクチャリング / 微細加工

Outline of Research at the Start

ナノからサブミクロン精度を有する超微細な立体造形法の開発は電子デバイスやMicroelectromechanical Systems（MEMS）のプロセスにおいて大変重要な課題である．本研究では金属ナノ微粒子を基板上に堆積させる微細立体造形法であるレーザー支援電気泳動堆積法（研究代表者の独自技術）において，堆積中の集光スポットを顕微計測して加工速度を最適制御する手法を開発する．本手法により，加工中の堆積途切れが生じない高い加工成功率での微細立体造形法を確立する．本手法は微細デバイスを低コストで試作可能な次世代の革新的な超精密加工法となり得る ．