Electron beam platform for ultra-high-resolution thermal measurements and ultra-precise fabrication of thermally-functional materials

• Project/Area Number: 23K26053
• Project/Area Number (Other): 23H01358 (2023)
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund (2024); Single-year Grants (2023)
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 19020:Thermal engineering-related
• Research Institution: Kyushu University
• Principal Investigator: 李 秦宜 九州大学, 工学研究院, 准教授 (60792041)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 高橋 厚史 九州大学, 工学研究院, 教授 (10243924)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2027-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,720,000 (Direct Cost: ¥14,400,000、Indirect Cost: ¥4,320,000); Fiscal Year 2026: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2025: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2024: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2023: ¥4,940,000 (Direct Cost: ¥3,800,000、Indirect Cost: ¥1,140,000)
• Keywords: 熱計測 / 電子顕微鏡 / ナノスケール伝熱 / 熱機能 / 電子線

Outline of Research at the Start

半導体トランジスタの特徴サイズがナノまたは原子レベルに近づくにつれて、電子機器の高度な熱制御には極限空間分解能を持つ熱計測が不可欠になってきている。本研究では、電子線を駆使して従来にない超高分解能の熱計測プラットフォームおよび超精密な加工プラットフォームを構築する。このプラットフォームに基づいて、熱を自由自在に制御できるナノ構造を創出し、社会的需要も学術的価値も高い未踏領域を探求する。