Vapor-phase growth and optical functionality of boron nitride collaborated with oxygen and carbon

• Project/Area Number: 23K26428
• Project/Area Number (Other): 23H01735 (2023)
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund (2024); Single-year Grants (2023)
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: 且井 宏和 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 (70610202)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 高木 成幸 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光量子科学研究所 放射光科学研究センター, 主幹研究員 (50409455) ; 原田 勝可 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 客員教授 (60552726) ; 劉 崢 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 上級主任研究員 (80333904)
• Project Period (FY): 2023-04-01 – 2026-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥19,110,000 (Direct Cost: ¥14,700,000、Indirect Cost: ¥4,410,000); Fiscal Year 2025: ¥3,380,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥780,000); Fiscal Year 2024: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2023: ¥11,180,000 (Direct Cost: ¥8,600,000、Indirect Cost: ¥2,580,000)
• Keywords: 酸炭窒化ホウ素 / 薄膜 / 化学気相析出 / BCNO / 発光

Outline of Research at the Start

本研究は、酸素と炭素を含有する窒化ホウ素の化学気相成長プロセスと光機能を追究することを目的とする。このために非酸化物の高速化学気相析出技術を応用し、従来、窒化ホウ素の気相成長では低減すべき不純物であった酸素や炭素を、本研究では積極的に導入することで光機能探究に資する「酸炭」窒化ホウ素の薄膜・コーティングプロセスを構築する。軽元素のみで構成されるB-C-N-O四元系薄膜の詳細な構造・組成と光機能との相関を明らかにし、発光波長制御や高輝度化、各種発光特性の解明を通して低環境負荷でチューナブルな母体発光機能をもつ無機薄膜蛍光体を創出する。