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Advancement of Filtered Arc Deposition System and Fabrication and Processing of High-Quality Hydrogen-Free DLC Films

Research Project

Project/Area Number 24246048
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Power engineering/Power conversion/Electric machinery
Research InstitutionToyohashi University of Technology

Principal Investigator

TAKIKAWA Hirofumi  豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90226952)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) KIYOHARA Syuji  舞鶴工業高等専門学校, 電子制御工学科, 准教授 (40299326)
KANEKO Satoru  神奈川県産業技術センター, その他部局等, 研究員 (40426359)
YAMADA Kenji  石川工業高等専門学校, 電気情報工学科, 准教授 (50249778)
HABUCHI Hitoe  岐阜工業高等専門学校, 電子情報工学科, 准教授 (90270264)
TANOUE Hideto  北九州工業高等専門学校, 電気電子工学科, 講師 (50580578)
Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) SUDA Yoshiyuki  豊橋技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (70301942)
SHIBATA Takayuki  豊橋技術科学大学, 工学研究科, 教授 (10235575)
KAWASHIMA Takahiro  豊橋技術科学大学, 工学研究科, 准教授 (50378270)
Project Period (FY) 2012-04-01 – 2015-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2014)
Budget Amount *help
¥47,060,000 (Direct Cost: ¥36,200,000、Indirect Cost: ¥10,860,000)
Fiscal Year 2014: ¥11,700,000 (Direct Cost: ¥9,000,000、Indirect Cost: ¥2,700,000)
Fiscal Year 2013: ¥11,570,000 (Direct Cost: ¥8,900,000、Indirect Cost: ¥2,670,000)
Fiscal Year 2012: ¥23,790,000 (Direct Cost: ¥18,300,000、Indirect Cost: ¥5,490,000)
Keywordsフィルタードアーク蒸着 / ダイヤモンドライクカーボ ン膜 / 微細加工 / ナノテクノロジー / パターニング / エッチング / MEMS / ダイヤモンドライクカーボン膜 / 高品質化 / 前処理 / 均一成膜 / 膜厚制御 / 異物フリー技術 / くし形微細加工
Outline of Final Research Achievements

In this research, the filtered arc plasma beam deposition system and technique were developed, constructed and established for the fabrication of high-quality hydrogen-free amorphous carbon (a-C) film had uniform thickness on 4-inch Si wafer. The techniques to control pure-carbon plasma beam and substrate holder motion were developed to achieve a-C films had uniform thickness. The thickness change of a-C film on Si wafer was inhibited below 5% in 500 nm thickness. In addition, the variations of the film properties for the deposition conditions of a-C films were clarified, and the primary knowledge for the processing of hydrogen-free a-C films was achieved. The fabricated high-quality a-C films on Si wafers are expected as the functional substrates for MEMS.

Report

(4 results)
  • 2014 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2013 Annual Research Report
  • 2012 Annual Research Report
  • Research Products

    (53 results)

All 2015 2014 2013 2012 Other

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (35 results) (of which Invited: 3 results) Book (4 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (3 results)

  • [Journal Article] Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method2014

    • Author(s)
      S Kaneko, H Torii, T Amazawa, T Ito, M Yasui, M Kurouchi, A Fukushima, T Tokumasu, S Lee, S Park, H Takikawa, M Yoshimoto
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 53 Issue: 11S Pages: 11RA11-11RA11

    • DOI

      10.7567/jjap.53.11ra11

    • NAID

      210000144625

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      Volume: Vol.1511

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      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      Volume: Vol.1511

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      Nagoya, Japan
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      第62回応用物理学会春季学術講演会
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      第62回応用物理学会春季学術講演会
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      神奈川県、東海大学
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      藤井裕真,今井貴大,宮本優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,金子智,安井治之,國次真輔,川口雅弘,三浦 健一
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      表面技術協会第131回講演大会
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      神奈川県、関東学院大学
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      表面技術協会第130回講演大会
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      京都府、京都大学
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      藤井裕真,宮本 優,須田善行,滝川浩史,田上英人,神谷雅男,瀧 真,長谷川祐史,辻信広
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      表面技術協会第130回講演大会
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      京都府、京都大学
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      北海道、北海道大学
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    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
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      北海道、北海道大学
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      2014-09-17 – 2014-09-20
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      愛知県、中京大学
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      宮本優,藤井裕真,須田善行,滝川浩史,田上英人,西内満美子,榊泰直,近藤公伯
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      電気・電子・情報関係学会東海支部連合会
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      愛知県、中京大学
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      婦木 陽介 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • Organizer
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      大阪府、近畿大学
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      2014-07-04
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      吉田 捷吾 , 清原 修二 , 石川 一平,滝川浩史,渡邊 雅彦 , 杉山 嘉也 , 小俣有紀子,倉島優一
    • Organizer
      2014年度精密工学会関西地方学術講演会
    • Place of Presentation
      大阪府、近畿大学
    • Year and Date
      2014-07-04
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      S. Kaneko, T. Ito, M. Yasui, M. Kurouchi, T. Nagano, H. Torii, T. Amazawa, L. Seughwan, S. Park, A. Fukushima, T. Tikumasu, H. Takikawa
    • Organizer
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      S. Kaneko, H. Torii, T. Ito, M. Yasui, A. Fukushima, T. Tokumasu, S. Park, T. Endo H. Takikawa, M. Yoshimoto
    • Organizer
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    • Place of Presentation
      Yokohama, Japan
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    • Author(s)
      櫻井圭輔,石川一平,清原修二,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,須田善行,滝川浩史,倉島優一
    • Organizer
      ナノ学会第11回大会
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      東京都、東京工業大学
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      松田将平,清原修二,石川一平,田口佳男,杉山嘉也,小俣有紀子,田上英人,滝川浩史,倉島優一
    • Organizer
      ナノ学会第11回大会
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      東京都、東京工業大学
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    • Organizer
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      大阪府,大阪工業大学
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      松本拓也,石川一平,清原修二,櫻井圭輔,田上英人,須田善行,滝川浩史,渡邊雅彦,杉山嘉也,小俣有紀子,倉島優一
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      立命館大学
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  • [Presentation] マイクロ波プラズマCVD による窒化炭素合成における基板依存性2012

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      高橋侑佑,羽渕仁恵, 鵜木武人, 細野幸太, 滝川 浩史
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      第73回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      愛媛大学・松山大学
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  • [Presentation] フィルタードアーク蒸着法における細孔底面への水素フリーDLC膜の形成2012

    • Author(s)
      森田悠介,細尾倫成,柏木大幸,田上英人,須田善行,滝川浩史
    • Organizer
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • Place of Presentation
      豊橋技術科学大学
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  • [Presentation] 水素含有DLC膜の昇温脱離質量分析における昇温速度の影響2012

    • Author(s)
      角口公章,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,瀧真,長谷川祐史,辻信広,石川剛史
    • Organizer
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • Place of Presentation
      豊橋技術科学大学
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  • [Presentation] カーボンアークプラズマビームを用いた4インチSiウェハへのDLC膜の均一成膜2012

    • Author(s)
      細尾倫成,奥田浩史,田上英人,須田善行,滝川浩史,神谷雅男,長谷川祐史,瀧真,辻信広,石川剛史
    • Organizer
      平成24年度電気関係学会東海支部大会
    • Place of Presentation
      豊橋技術科学大学
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      2012 Annual Research Report
  • [Book] 潤滑経済(水素フリーDLCテトラヘドラルアモルファスカーボンの開発)2014

    • Author(s)
      滝川浩史
    • Total Pages
      80
    • Publisher
      潤滑通信社
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  • [Book] 光技術コンタクト(レンズ金型用離型膜へのDLCの応用)2014

    • Author(s)
      瀧真,安井治之,神谷雅男,滝川浩史
    • Total Pages
      50
    • Publisher
      日本オプトメカトロニクス協会
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      2014 Annual Research Report
  • [Book] 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 第15節 真空アーク蒸着法による光学薄膜の成膜技術と膜質・膜厚の制御2013

    • Author(s)
      滝川浩史 ほか
    • Total Pages
      890
    • Publisher
      技術情報協会
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  • [Book] DLCの応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-(普及版)2013

    • Author(s)
      滝川浩史 ほか
    • Total Pages
      306
    • Publisher
      シーエムシー出版
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  • [Remarks] プラズマエネルギーシステム研究室

    • URL

      http://www.arc.ee.tut.ac.jp/

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  • [Remarks] プラズマエネルギーシステム研究室

    • URL

      http://www.pes.ee.tut.ac.jp/

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  • [Patent(Industrial Property Rights)] DLC膜の製造方法2013

    • Inventor(s)
      滝川浩史,瀧真,長谷川祐史,神谷雅男,加藤裕久
    • Industrial Property Rights Holder
      豊橋技術科学大学,伊藤光学工業(株),(株)オンワード技研
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2013-11-05
    • Acquisition Date
      2014-12-26
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  • [Patent(Industrial Property Rights)] DLC膜及びDLCコート金型2013

    • Inventor(s)
      滝川浩史,瀧真,長谷川祐史,神谷雅男,加藤裕久
    • Industrial Property Rights Holder
      豊橋技術科学大学,伊藤光学工業(株),(株)オンワード技研
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2013-02-04
    • Acquisition Date
      2015-03-20
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  • [Patent(Industrial Property Rights)] 炭素電極保持構造体2013

    • Inventor(s)
      福田博人,辻信弘,長谷川祐史,瀧真,大村佳人,藤田裕希,滝川浩史
    • Industrial Property Rights Holder
      トヨタ自動車、オンワード技研、豊橋技術科学大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2013-266282
    • Filing Date
      2013-12-25
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Published: 2013-05-15   Modified: 2019-07-29  

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