超磁歪材料/ダイヤモンドMEMS異種接合用いた革新的な磁気イメージセンサの創製

• Project/Area Number: 24H00287
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
• Research Institution: National Institute for Materials Science
• Principal Investigator: 廖 梅勇 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 戸田 雅也 東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2029-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥48,100,000 (Direct Cost: ¥37,000,000、Indirect Cost: ¥11,100,000); Fiscal Year 2025: ¥11,050,000 (Direct Cost: ¥8,500,000、Indirect Cost: ¥2,550,000); Fiscal Year 2024: ¥16,900,000 (Direct Cost: ¥13,000,000、Indirect Cost: ¥3,900,000)
• Keywords: 磁気センサ / MEMS / ダイヤモンド

Outline of Research at the Start

次世代の磁気イメージセンサには、過酷な環境下で安定して動作する高信頼性や、室温においてもピコテスラ(pT)以下の磁場が計測できる超高感度化が求められている。本研究では、研究代表者らが約15年間にわたるダイヤモンドMEMSの先駆的研究に基づいて、磁歪材料×ダイヤモンドMEMS異種構造と高速イメージセンシングデバイスコンセプトを提案し、既存の磁気イメージセンサの欠点を克服して、革新的な高信頼性、高感度、高速及び高空間分解能の利点を持つMEMS磁気イメージセンサの開発を目的とする。