Development of super large-angle illumination STEM imaging

• Project/Area Number: 24H00373
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 26:Materials engineering and related fields
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 石川 亮 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任准教授 (20734156)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 川原 一晃 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (90869570)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2027-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥50,310,000 (Direct Cost: ¥38,700,000、Indirect Cost: ¥11,610,000); Fiscal Year 2025: ¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000); Fiscal Year 2024: ¥42,640,000 (Direct Cost: ¥32,800,000、Indirect Cost: ¥9,840,000)
• Keywords: 深さ断層法 / 格子欠陥

Outline of Research at the Start

本研究では，超収束角（>80 mrad）となる収差補正レンズの開発を行い，高い深さ分解能を有する走査透過型電子顕微鏡法を構築する．高い深さ分解能を有する電子顕微鏡と深さ断層法を融合し，物質中の３次元構造解析を実現することを目的とする．特に点欠陥や界面など，結晶特有の格子欠陥に注目し，直接観察が従来困難であった３次元構造を明らかにする．また、3次元再構成に必要な画像のノイズ処理法や数値解析および統計解析手法についても検討する。