異種材料接合の表面処理における固体ソースH2Oプラズマ分布均一化のための改良

• Project/Area Number: 24H02547
• Research Category: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: 2140:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, fluid engineering, thermal engineering, mechanical dynamics, robotics, and related fields
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 遠西 美重 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 技術職員
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2025-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥430,000 (Direct Cost: ¥430,000); Fiscal Year 2024: ¥430,000 (Direct Cost: ¥430,000)

Outline of Research at the Start

これまで簡易な装置構成の固体ソースH2Oプラズマ処理により、ガラスとPDMSの接合を達成することができたが、接合が不完全であったり、接合面積の大きな試料では接合にムラが生じることがあった。本研究では、電極の形状およびプラズマソースとなる純水を入れる容器の設置位置を改良し、プラズマ分布の均一化を目指す。プラズマ分布は処理前後の試料の表面粗さや純水滴の接触角で評価し、強度は表面を処理したガラスとPDMSの貼り合わせ箇所の破壊強度測定および実際に作製したマイクロ流路デバイスの耐圧性から確認する。