酸化スズ半導体ガスセンサにおける酸化スズ膜の微粒子化・薄膜化技術の研究

• Project/Area Number: 24H02569
• Research Category: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: 2170:Materials engineering, chemical engineering and related fields
• Research Institution: Ehime University
• Principal Investigator: 森 雅美 愛媛大学, 工学部, 国立大学法人の技術職員
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2025-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥370,000 (Direct Cost: ¥370,000); Fiscal Year 2024: ¥370,000 (Direct Cost: ¥370,000)

Outline of Research at the Start

半導体ガスセンサの感度を向上させる方法の１つとして半導体膜の表面積を上げてガス吸着面積を増大させる方法がある。本研究では、酸化スズ半導体センサの酸化スズ膜の原料として粉体ではなくスズ標準液を使用することで、微粒子（粒径１０nm以下）から成る薄膜（膜厚１００nm以下）の作製を試みる。また、作製した酸化スズ膜のエタノールガス応答を評価する。微粒子化、薄膜化により熱処理条件が膜形態に及ぼす影響が顕著になると考えられることから、膜の表面、断面を電界放出型走査顕微鏡で観察し、熱処理条件によって表面形態や膜厚がどのように変化するのかを調べる。