Diagnostics of plasma-material interaction by harmonic spectroscopy method

• Project/Area Number: 24K00620
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 14030:Applied plasma science-related
• Research Institution: Kyoto University
• Principal Investigator: 占部 継一郎 京都大学, 工学研究科, 准教授 (80725250)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000); Fiscal Year 2027: ¥2,340,000 (Direct Cost: ¥1,800,000、Indirect Cost: ¥540,000); Fiscal Year 2026: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000); Fiscal Year 2025: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000); Fiscal Year 2024: ¥9,230,000 (Direct Cost: ¥7,100,000、Indirect Cost: ¥2,130,000)
• Keywords: プラズマ / プラズマ・材料相互作用 / プラズマ診断 / 表面改質 / 高調波分光法

Outline of Research at the Start

プラズマ・材料相互作用の研究は，プラズマ応用科学の根幹であり，プラズマが関わる先端科学技術やフロンティア開拓の発展に不可欠なものである．研究代表者は「単一の界面で発生しているプラズマ・材料相互作用に対するプラズマパラメータと材料表面状態の同時計測技術」が本分野を大きく発展させると考え，プラズマ（イオンシース）電気特性の非線形性を活用した「高調波分光法」を着想した．この新規計測手法はプラズマ計測と固体表面・薄膜計測という別分野の研究成果を融合したものであり，本研究の進展はプラズマとその関連分野の発展に大きく寄与するものである．