Development of a smart manufacturing process for ultrathin crystalline Si solar cell using hydrogen plasma

Research Project

Project/Area Number	24K00778
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	大参宏昌大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00335382)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000) Fiscal Year 2026: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000) Fiscal Year 2025: ¥5,980,000 (Direct Cost: ¥4,600,000、Indirect Cost: ¥1,380,000) Fiscal Year 2024: ¥8,840,000 (Direct Cost: ¥6,800,000、Indirect Cost: ¥2,040,000)
Keywords	太陽電池 / シリコン / プラズマ / 水素 / 特殊加工
Outline of Research at the Start	本研究では、低炭素社会を支えるエネルギー源としての太陽光発電の導入拡大を経済・社会・環境コストを伴わず進めるため、貴重な単結晶シリコン材料の使用量低減と柔軟軽量化による設置場所多様化を可能とする極薄結晶シリコン太陽電池の製造技術の開発を目的としている。具体的には、研究代表者が開発してきた高密度水素プラズマによるシリコン加工・成膜法を深化させ、水素だけで極薄結晶シリコン太陽電池を実現するためのプロセス指針を確立する。