極低温環境対応マイクロアクチュエータ駆動用圧電振動子の試作研究

• Project/Area Number: 24K00791
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 18040:Machine elements and tribology-related; Basic Section 18030:Design engineering-related; Sections That Are Subject to Joint Review: Basic Section18030:Design engineering-related , Basic Section18040:Machine elements and tribology-related
• Research Institution: Okayama University
• Principal Investigator: 神田 岳文 岡山大学, 環境生命自然科学学域, 教授 (30346449)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山口 大介 岡山大学, 環境生命自然科学学域, 助教 (00735657)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000); Fiscal Year 2027: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000); Fiscal Year 2026: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000); Fiscal Year 2025: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000); Fiscal Year 2024: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000)
• Keywords: マイクロアクチュエータ / 極低温環境 / 圧電振動子 / 圧電アクチュエータ

Outline of Research at the Start

本研究では、極低温環境で使用可能なマイクロアクチュエータの実現を目標とし、このアクチュエータの駆動源となる極低温環境での共振駆動に適した小型化が容易な圧電振動子について検討を行う。予圧印加に関連する圧電材料の特性を明らかにするとともに、小型化に対応した構造を提案して振動子としての設計手法を確立し、試作した振動子を用いたアクチュエータの試作・低温環境での駆動により、アクチュエータ用振動子としての有効性を実証する。このために低温環境での圧力印加時の圧電体の評価、構造材料の温度依存性を利用した予圧印加構造を持つ小型化に適した振動子の構成、極低温環境用アクチュエータの試作評価について研究を行う。