微細軟磁性構造体を用いた高空間分解能でGHz帯動作する薄膜磁気センサの実現と応用

Research Project

Project/Area Number	24K00890
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21030:Measurement engineering-related
Research Institution	Iwate University
Principal Investigator	菊池弘昭岩手大学, 理工学部, 准教授 (30344617)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥17,940,000 (Direct Cost: ¥13,800,000、Indirect Cost: ¥4,140,000) Fiscal Year 2026: ¥3,900,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥900,000) Fiscal Year 2025: ¥5,720,000 (Direct Cost: ¥4,400,000、Indirect Cost: ¥1,320,000) Fiscal Year 2024: ¥8,320,000 (Direct Cost: ¥6,400,000、Indirect Cost: ¥1,920,000)
Keywords	薄膜磁気センサ / 高空間分解能 / GHz帯 / 高感度
Outline of Research at the Start	軟磁性構造体を微細加工技術により理想に近いワイヤ構造に微細加工し, 簡便なジュール加熱の手法を取り入れて微細構造体の磁気異方性制御を試み, 併せて強磁性共鳴周波数がGHzと高い材料を適用することにより, 素子長数10μmオーダーと小型で, かつ, GHz帯の高周波磁界検知可能な高感度の高機能磁気センサ実現を目指す研究である。将来的に, 電磁計測を基にした非破壊検査技術や高周波電流計測技術の高空間分解能化, 高周波化に寄与することを目的とする。