Elucidation of the inorganic solid phase reaction mechanism focusing on atomic diffusion due to non-radiative transition

Research Project

Project/Area Number	24K01159
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 26020:Inorganic materials and properties-related
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	佐藤和久大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 准教授 (70314424)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000) Fiscal Year 2026: ¥5,070,000 (Direct Cost: ¥3,900,000、Indirect Cost: ¥1,170,000) Fiscal Year 2025: ¥8,710,000 (Direct Cost: ¥6,700,000、Indirect Cost: ¥2,010,000) Fiscal Year 2024: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Keywords	非輻射遷移 / 電子励起 / オージェ崩壊 / 固相反応 / 金属シリサイド
Outline of Research at the Start	本研究では、非輻射遷移に起因する原子移動を利用して、常温常圧で化合物薄膜を創製する新規プロセスを開拓し、電子顕微鏡を用いて固相反応支配因子を解明する。この新規プロセスでは、内殻電子励起によりメタロイド酸化物を分解し、金属/酸化物界面に金属シリサイドを形成することが可能である。この手法をセンサーや熱電変換素子など広範な応用が期待されるCrSi2薄膜の室温創製に応用し、固相反応機構解明とともにその汎用性を実証する。