Measurement of carbon nanotube bundle resonant frequency and its feasibility study of high sensitive gas sensing application

• Project/Area Number: 24K01199
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 26040:Structural materials and functional materials-related
• Research Institution: Tottori University
• Principal Investigator: 李 相錫 鳥取大学, 工学研究科, 教授 (50625233)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 久米村 百子 九州工業大学, 大学院生命体工学研究科, 准教授 (50533642) ; 古田 寛 高知工科大学, システム工学群, 教授 (10389207) ; 中嶋 誠 大阪大学, レーザー科学研究所, 准教授 (40361662) ; 魯 健 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (50547479) ; 松永 忠雄 鳥取大学, 工学研究科, 准教授 (00396540)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2027-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000); Fiscal Year 2026: ¥5,980,000 (Direct Cost: ¥4,600,000、Indirect Cost: ¥1,380,000); Fiscal Year 2025: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000); Fiscal Year 2024: ¥5,980,000 (Direct Cost: ¥4,600,000、Indirect Cost: ¥1,380,000)
• Keywords: カーボンナノチューブ / 共振周波数 / ガスセンシング

Outline of Research at the Start

本研究目的達成のため、MEMSマイクログリッパーのプローブ先端にCNT束を成長する必要がある。そのためCNT束成長に必要な触媒層をMEMSマイクログリッパーのプローブ先端に成膜できる作製プロセスを確立する。次に、MEMSマイクログリッパーのプローブ先端で成長されたCNT束の自己共振周波数の測定し、ガス分子を吸着させ、自己共振周波数の変化を調査し、ppbオーダー以下の極低濃度ガスセンサとしての応用可能性を明らかにする。