回路レス温度補正が可能な実装基板一体型水晶振動子によるオンサイト計測の革新

• Project/Area Number: 24K01317
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
• Research Institution: Niigata University
• Principal Investigator: 安部 隆 新潟大学, 自然科学系, 教授 (00333857)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000); Fiscal Year 2027: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000); Fiscal Year 2026: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000); Fiscal Year 2025: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000); Fiscal Year 2024: ¥7,150,000 (Direct Cost: ¥5,500,000、Indirect Cost: ¥1,650,000)
• Keywords: 水晶振動子 / オンサイト計測 / 温度補正 / 微細加工 / プロセスモニタリング

Outline of Research at the Start

本研究では、申請者が考案した、回路なしで自然に温度補正可能な実装基板一体型ATカット水晶振動子の駆動原理を解明することで、広い周波数で利用可能とし、さらにその強みを活かしたセンシングへの応用を探索する。ATカット水晶振動子は、常温付近の温度特性が優れているが、振動子が外部環境に曝露されるオンサイト計測やダイナミックな温度変動を伴う反応プロセス計測の場合は、温度特性が無視できず、その感度を活かせない状況である。本研究では、本振動子を信号変換素子や信号源として利用したセンサのプロセスモニタリングなどの応用開拓も実施する予定である。