窒化物圧電薄膜におけるミクロ組織の設計ストラテジーの確立

Research Project

Project/Area Number	24K01592
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 36010:Inorganic compounds and inorganic materials chemistry-related
Research Institution	National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Principal Investigator	平田研二国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (40828282)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	上原雅人国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (10304742) Anggraini SriAyu 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (80784123) 新津甲大国立研究開発法人物質・材料研究機構, マテリアル基盤研究センター, 独立研究者 (90733890)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥18,590,000 (Direct Cost: ¥14,300,000、Indirect Cost: ¥4,290,000) Fiscal Year 2026: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2025: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000) Fiscal Year 2024: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000)
Keywords	窒化物 / 圧電体 / 薄膜
Outline of Research at the Start	ウルツ鉱構造を有した窒化物の固溶体薄膜は優れた圧電特性や強誘電特性を有するため、盛んに研究されている。一方、これらの薄膜では、結晶性が不安定になりやすく、結晶粒の配向性の低下や、不均質な濃度分布に起因した不純物相の生成が問題となっている。物質本来の特性を引き出すには薄膜の材料組織的な性状因子を高い水準で満足する必要があり、その制御技術を確立することは工業的に非常に重要である。本研究ではウルツ鉱構造を有する窒化物圧電薄膜を対象に「c軸配向性」、「濃度分布」、「歪分布」の観点からミクロ組織を制御することで圧電性能の向上を試みる。