集積回路設計・作製エキスパート育成教材の開発とその応用

• Project/Area Number: 24K06400
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 09080:Science education-related
• Research Institution: Suzuka National College of Technology
• Principal Investigator: 辻 琢人 鈴鹿工業高等専門学校, その他部局等, 教授 (70321502)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2029-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2028: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000); Fiscal Year 2027: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2026: ¥260,000 (Direct Cost: ¥200,000、Indirect Cost: ¥60,000); Fiscal Year 2025: ¥390,000 (Direct Cost: ¥300,000、Indirect Cost: ¥90,000); Fiscal Year 2024: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
• Keywords: 半導体 / 電子デバイス / 集積回路 / M O S 電界効果トランジスタ

Outline of Research at the Start

学生が強い関心を持って，集積回路の設計・解析，及び作製に必要な知見と技術を習得できる集積回路設計・作製教材を開発する．これまでに開発した半導体デバイス作製技術を基に，集積回路の作製に必要なμ m スケールの微細な M O S 電界効果トランジスタ ( M O S F E T ) 作製工程を確立するとともに，集積回路の設計教材を構築する．そして，構築した集積回路の設計教材を活用して，微細な M O S F E T が組み込まれた集積回路を作製することによって，集積回路の設計と作製工程の両面に通じた実践的な半導体デバイス作製技術者の育成を図る．