Preparation of gradient-functional anti-hydrogen embrittlement coatings using powder targets

• Project/Area Number: 24K07008
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 14030:Applied plasma science-related
• Research Institution: Sasebo National College of Technology
• Principal Investigator: 川崎 仁晴 佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (10253494)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2024)
• Budget Amount: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2027: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000); Fiscal Year 2026: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000); Fiscal Year 2025: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2024: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
• Keywords: 粉体ターゲット / スパッタリング / プラズマプロセス / 傾斜機能性薄膜

Outline of Research at the Start

他元素の混合粉体ターゲットを用いて、傾斜機能性薄膜の作製を行う。具体的には、粉体の混合比を一定量ずつ変化させた複数のターゲットを用いて、基板・薄膜界面は母材に近く、薄膜最表面（高圧水素との接触面）では水素侵入防止効果の大きい傾斜機能性薄膜を作製する。この手法で、高圧水素接触でも剥離がなく水素脆化防止効果が100％となる薄膜作製を目指す。