Study on high-efficiency and ultra-precision machining mechanisms of CVD-SiC materials

Research Project

Project/Area Number	24K07262
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research Institution	Gunma University
Principal Investigator	林偉民群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (60321840)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	今井健太郎群馬大学, 大学院理工学府, 助教 (60966589)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000) Fiscal Year 2025: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000) Fiscal Year 2024: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
Keywords	CVD-SiC / ダイヤモンド切削 / 超精密研削 / 研磨加工 / in-situ観察
Outline of Research at the Start	本研究では難加工材料であるCVD-SiCに対してダイヤモンド切削・研削加工より高効率・高精度な形状加工を行い、その仕上げ加工において自転／公転型研磨法により砥石研磨や遊離砥粒の超精密研磨を行い、光学素子やその成型用金型として使用できる一連の加工プロセスの確立を目指すものである。特に仕上げ加工である研削・研磨加工において、工具と砥粒、そして砥粒と被加工物がどのように相対運動しているかを把握するためのin-situ観察システムを構築し、加工中に砥粒が工具や加工物との接触状況、砥粒自身の運動状況を観察し、材料の除去量や工具の表面性状、工具摩耗の結果と合わせて解析を行い、研磨加工メカニズムを究明する。