Elucidation of Ionic Liquid Behavior in Fluid Film Bearing-Clearance in Ultra-High Vacuum

Research Project

Project/Area Number	24K07285
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 18040:Machine elements and tribology-related
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	岡部貴雄東京大学, 生産技術研究所, 特任助教 (80649400)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000) Fiscal Year 2025: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000) Fiscal Year 2024: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Keywords	流体軸受 / イオン液体 / 高真空 / 蛍光観察
Outline of Research at the Start	これまでの研究から，次世代半導体製造装置に必要とされている10^-5 Paの超高真空においてイオン液体を用いた冷却や，流体軸受の使用が可能なことが示されてきた．しかしながら，10^-5 Paの超高真空では，多量のイオン液体を使用した場合の液体挙動，および流体軸受の運動精度に与える影響は明らかとなっていない．また，位置決め機構のようにナノレベルの運動精度が対象となる際には，大気と真空下でイオン液体の挙動がわずかに異なることに起因する精度差も見出されてきている．本研究では，超高真空下におけるイオン液体の挙動を解明し，真空用流体機械の設計指を得る．