超高精度・高速応答をともなったフィードバック制御式共振型マイクロ加速度センサ

Research Project

Project/Area Number	24K07381
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 20010:Mechanics and mechatronics-related
Research Institution	Meijo University
Principal Investigator	畑良幸名城大学, 理工学部, 准教授 (60524650)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2026: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000) Fiscal Year 2025: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000) Fiscal Year 2024: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Keywords	MEMS / 加速度センサ / 共振周波数 / Force Rebalance / 力フィードバック制御
Outline of Research at the Start	自動運転車の移動量・姿勢推定、ロボットの姿勢制御、人の動作・行動推定を高度かつ安価に行なうためにはMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)加速度センサの超高精度・高速応答化が重要となる。本研究では、加速度印加時の共振周波数の変化から加速度を算出する従来の共振型加速度センサとは異なり、力フィードバック制御（Force Rebalance制御）によって共振周波数を一定に保つ制御量から加速度を算出する、共振型加速度センサとAM(Amplitude Modulation)加速度センサを融合した新規加速度センサを動作実証する。また、高精度化と高速応答化を検証する。