超高速と高精度を両立する粗微動サーボ弁による非接触駆動エアステージの駆動制御法

Research Project

Project/Area Number	24K07391
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 20010:Mechanics and mechatronics-related
Research Institution	Tokyo Denki University
Principal Investigator	藤田壽憲東京電機大学, 工学部, 教授 (70242279)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000) Fiscal Year 2026: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000) Fiscal Year 2025: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000) Fiscal Year 2024: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000)
Keywords	空気圧 / エアステージ / 超精密位置決め / サーボ弁 / 粗微動制御
Outline of Research at the Start	申請者はピストンを静圧軸受により浮上させることにより、発熱や摩擦のない非接触駆動を可能とするエアステージを実現した。このステージは１台のサーボ弁により駆動されてきた。本研究では、これを高速に駆動する粗動サーボ弁と精密な位置決めをする微動サーボ弁で駆動することを提案する。二つのサーボ弁を制御する方法を検討し、実際に超高速と高精度を同時に両立できるエアステージを実現することを目指す。