耐摩耗性高摺動膜の超高速成膜メカニズム解明による大面積均一成膜技術の開発

Research Project

Project/Area Number	24K07452
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21010:Power engineering-related
Research Institution	Gifu University
Principal Investigator	針谷達岐阜大学, 工学部, 特任准教授 (20757108)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2026: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000) Fiscal Year 2025: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000) Fiscal Year 2024: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Keywords	摺動性薄膜 / 高速成膜 / 均一成膜 / エネルギー損失低減
Outline of Research at the Start	耐摩耗性高摺動膜の適用範囲を拡大することは，多様な機械部品の摩擦によるエネルギー損失を低減し，CO2排出量の大幅な抑制効果をもたらす。この摺動膜のひとつに，硬質アモルファスカーボンであるダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）膜がある。DLC膜の適用範囲拡大の課題となっている高い装置導入コストと低成膜速度を解決する方法として，従来法より一桁以上成膜速度が速く，さらにより簡易な装置構成が可能な超高速プラズマCVD法を開発した。本研究では，超高速成膜が可能な領域の拡大のため，DLC超高速成膜プロセスにおける高速形成要因を特定し，大面積均一成膜の実現を目指す。