ダイヤモンド・パワーデバイスの内部歪み・ストレスのデバイス性能・信頼性への影響解明

Research Project

Project/Area Number	24K07456
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21010:Power engineering-related
Research Institution	Kyushu Institute of Technology
Principal Investigator	渡邉晃彦九州工業大学, 大学院生命体工学研究科, 准教授 (80363406)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000) Fiscal Year 2025: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000) Fiscal Year 2024: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
Keywords	ダイヤモンド / パワーデバイス / 応力・歪み / 信頼性
Outline of Research at the Start	パワーエレクトロニクス機器を構成するパワーデバイスの高性能化が、低炭素化・省エネルギー化社会の実現には不可欠である。次々世代デバイスとして期待されているダイヤモンド・パワーデバイスは社会実装が急がれている。ダイヤモンド・デバイス作製プロセスでは、積層する性質の異なるダイヤモンド薄膜の結晶性が均一になることが理想的であるが、性質の異なる薄膜の界面領域や結晶面内で歪み・応力が分布する。この歪み・応力は、ダイヤモンド・パワーデバイスの性能・信頼性を低下させる要因となりうる。本研究では、デバイス・プロセスで発生するダイヤモンド薄膜中の歪み・応力を解析し、デバイス性能・信頼性に与える影響を明らかにする。