低ノイズ超高速レーザ干渉計による超広帯域センサの評価技術の開発

Research Project

Project/Area Number	24K07517
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21030:Measurement engineering-related
Research Institution	National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Principal Investigator	野里英明国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (60415726)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000) Fiscal Year 2025: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000) Fiscal Year 2024: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000)
Keywords	AEセンサ / 高周波数応答 / ヘテロダイン式レーザ干渉計 / 弾性波 / 接触剛性
Outline of Research at the Start	AEセンサでは複数個所における測定により、インフラ劣化箇所の特定やマルチマテリアル・薄膜などの機械的特性評価が行われており、時系列波形におけるピーク値から弾性波の速度を求めた位置の同定や物性値が求められている。100 MHzの帯域まで感度だけでなく位相遅れも含めた微小変位計測を伴うAEセンサの評価技術は高いニーズをもっており、産業界からは計測信頼性の確保されたAEセンサの周波数応答が求められている。そのため、本研究では、超広帯域センサの周波数応答の評価システムの構築を行い、AEセンサを主な評価対象とした計測信頼性評価技術を開発する。