気泡の発生音による気泡の膨張収縮の運動状態の定量計測技術

Research Project

Project/Area Number	24K07530
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21030:Measurement engineering-related
Research Institution	National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Principal Investigator	内田武吉国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (70455434)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000) Fiscal Year 2025: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000) Fiscal Year 2024: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Keywords	音響キャビテーション / 気泡 / 超音波計測 / 超音波洗浄 / 半導体
Outline of Research at the Start	超音波により生じる気泡は半導体基板や医療器具等の最終洗浄に利用されているが、気泡の膨張収縮時に生じる衝撃波によるエロージョンが課題である。そこで、本研究では気泡の膨張収縮時に発生する音響信号を気泡の運動状態の評価に応用することを目指している。気泡の音響信号である分調波と超高調波に注目し、両者が気泡のどの運動状態を反映した量であるかを明らかにすることにより、気泡の運動状態を簡易且つ定量的に計測する新しい技術を確立する。