超硬質・低摩擦な窒化炭素膜の創製に向けた前駆体の解明

Research Project

Project/Area Number	24K08100
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
Research Institution	University of Hyogo
Principal Investigator	田中一平兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (40781034)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2026: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2025: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000) Fiscal Year 2024: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Keywords	高密度プラズマ / 窒化炭素 / 超硬質 / 耐摩耗 / 化学結合
Outline of Research at the Start	本研究はダイヤモンドを超える超高硬度な窒化炭素を実現するために、窒化炭素の構成元素である炭素と窒素の化学結合の制御の確立を目指す。炭素と窒素の化学結合は複雑であり、窒化炭素に含まれる窒素量が低いという問題があるが、研究代表者は高密度プラズマによって窒素量を増加させた窒化炭素膜を得ている。本研究によって窒素量の増加に寄与する前駆体を明らかにすることで高窒素化を進め、さらに窒化炭素の生成する活性粒子量を調整することで化学結合を制御し、高窒素かつ高硬度な窒化炭素を創製する。