3-dimensional micropatterning process for oxides by using membrane structured a-CaO sacrifized layer

Research Project

Project/Area Number	24K08245
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related
Research Institution	Kanazawa University
Principal Investigator	川江健金沢大学, 電子情報通信学系, 准教授 (30401897)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000) Fiscal Year 2025: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2024: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Keywords	酸化物薄膜 / 選択成長 / 潮解性酸化物 / 微細加工
Outline of Research at the Start	本研究は、多様な酸化物に対応可能な3次元微細加工プロセスの確立を目的とする。目的達成に向け、高温耐性と潮解性をもつアモルファス酸化カルシウム(a-CaO)をメンブレン型犠牲層としたヘテロエピ選択成長・水リフトオフを提案する。具体的な取り組みとして、①精緻なメンブレン型a-CaO犠牲層の形成技術を確立し、②高アスペクト・極微サイズの酸化物膜のヘテロエピ選択成長を実証する。さらに、③提案技術に対する構造制御・微細化を制限する要素の有無と解決策について、プロセス工学・材料科学・デバイス工学を網羅した多角的な観点から明確な解を導く。