塑性変形を与えたPdAu合金膜の水素吸蔵反応機構究明とデバイス応用に関する研究

Research Project

Project/Area Number	24K08262
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 29030:Applied condensed matter physics-related
Research Institution	Nippon Institute of Technology
Principal Investigator	加藤史仁日本工業大学, 基幹工学部, 教授 (70780170)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥260,000 (Direct Cost: ¥200,000、Indirect Cost: ¥60,000) Fiscal Year 2025: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000) Fiscal Year 2024: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Keywords	水晶振動子センサー / 水素ガスセンサー / 水素吸蔵材料 / パラジウム合金
Outline of Research at the Start	化石燃料に代わるクリーンエネルギの一つとして、水素が注目されている。今後、急成長が見込まれる水素社会において、関連設備の保全管理には、100ppbオーダの極低濃度の水素を検出する技術が必要となる。パラジウム(Pd)は、水素吸蔵材料であり、申請者が考案した面内塑性変形スパッタ法によるPd膜は、一般的なPd膜と比べて、水素検出感度と応答速度が飛躍的に向上した。本研究では、PdAu合金に着目し、面内塑性変形PdAu合金膜の水素吸蔵機構の解明を通じて、高い水素検出感度と高速応答性能を有するPdAu合金膜の成膜手法を確立する。また、高感度・高速応答水素センサを開発し、持続可能な社会の実現に貢献する。