Thermal photodetector for mid-infrared spectroscopic imaging using MEMS movable filter array

Research Project

Project/Area Number	24K17595
Research Category	Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	安永竣東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (80963628)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2026-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000) Fiscal Year 2025: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2024: ¥3,120,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥720,000)
Keywords	中赤外線 / 分光 / プラズモニクス / 再構成分光法
Outline of Research at the Start	波長2.5マイクロメートル以上の中赤外光の吸収特性から，対象物の化学組成を計測する分光技術を，撮像素子の各画素において行うことで，空間を構成する物体を化学的組成によって可視化することが可能であるが，一般に普及するには，分光素子の小型化，集積化に課題がある．赤外線を熱に変換して光強度を計測する熱型中赤外受光器に波長による感度変化をもたせ，これを複数用いることで分光する技術があるが，本研究では，さらにこれに波長選択性をもつフィルタを組み合わせることで集積度の飛躍を目指す．