Research Project
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
従来、MEMSの設計ではいかにQ値を高めるかが高性能化の鍵であった。一方、これまでにMEMSに積極的にダンピングを導入する研究はほとんど行われていない。近年、非線形性によって生じる不要応答を抑えるため、あるいはフラットな周波数特性を得るため、MEMSに積極的にダンピングを導入したい応用例が浮上している。本研究では、MEMSに積極的ダンピングを導入するための材料と方法論について学術的に研究し、テストデバイスに適用して妥当性・有用性を検証する。ダンピング材料として厚い樹脂を想定し、それを用いたダンピング構造の効果を理論的に見積もる方法論を構築し、同時に半導体製造技術による実現方法も研究する。
