Fabrication of bipolar carbon nanotube FET sensors with crown-edge electrodes

Research Project

Project/Area Number	24K21621
Research Category	Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Medium-sized Section 21:Electrical and electronic engineering and related fields
Research Institution	Kyushu University
Principal Investigator	末廣純也九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (70206382)
Project Period (FY)	2024-06-28 – 2026-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥6,240,000 (Direct Cost: ¥4,800,000、Indirect Cost: ¥1,440,000) Fiscal Year 2025: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000) Fiscal Year 2024: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Keywords	カーボンナノチューブ / 電界効果型トランジスタ / 誘電泳動 / リソグラフィ
Outline of Research at the Start	研究代表者は、クラウン・エッジ電極を用いた誘電泳動集積法で製作したカーボンナノチューブ（CNT ）FETガスセンサは、従来の動作原理からは説明のできない興味深い応答特性を示すことを新たに見出した。本研究では、クラウン・エッジ電極を用いた誘電泳動集積の結果形成される電極端部とCNT端部の接触形態を原子間力顕微鏡を用いて詳細に調査すると同時に、これがCNT-FETの両極性伝導特性に及ぼす影響を詳細に調べ、電極界面構造を制御した両極性CNT-FETの新規な伝達機構解明と応用展開に挑む。