自己組織化膜の歩留まり科学に向けた計測体系構築：反射電子線小角散乱

Research Project

Project/Area Number	24K21687
Research Category	Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Medium-sized Section 26:Materials engineering and related fields
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	堀出朋哉名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (70638858)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	堀部陽一九州工業大学, 大学院工学研究院, 教授 (80360048)
Project Period (FY)	2024-06-28 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000) Fiscal Year 2026: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000) Fiscal Year 2025: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2024: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000)
Keywords	小角散乱 / 薄膜材料 / パルスレーザー蒸着
Outline of Research at the Start	工業材料は大量生産され、歩留まりを考慮して製品管理や設計を行う必要がある。歩留まりの科学化により、より効率的な大量生産、工業製品使用が可能になる。歩留まり科学では個々のデータの分解能よりもビッグデータ性が重要である。限定詳細評価から高速全箇所評価にかじを切ることが、歩留まり科学への計測思想の転換である。今回は自己組織化薄膜材料をターゲットとする。小角散乱に着目し、In-situで自己組織化構造をデータ化することを可能にする計測体系の構築を目指す。