Research Project
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
スピンMOSFETは,低消費電力次世代半導体デバイスとして期待されているが,従来研究では横型スピンMOSFETの報告のみであり,スピン伝導チャネルが長く室温での低性能,高抵抗電極や高集積化の観点でさらなる発展が必要とされていた.本研究では縦型Geナノワイヤチャネルという革新的構造を用いることで,従来のバルク横型チャネルでは困難な室温高性能動作と高密度化の問題を克服する縦型Geナノワイヤスピンデバイスの創製を目指す.具体的には(1)位置制御Geナノワイヤの作製とドーピング技術の確立,(2) 縦型Geナノワイヤスピンデバイスプロセスの開発,(3)ナノワイヤ構造におけるスピン伝導特性の評価を行う.