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高感度・高信頼性ダイヤモンドMEMS腐食性ガスセンサ

Research Project

Project/Area Number 24KF0085
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeMulti-year Fund
Section外国
Review Section Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
Research InstitutionNational Institute for Materials Science

Principal Investigator

廖 梅勇  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主席研究員 (70528950)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) ZHAO WEN  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 外国人特別研究員
Project Period (FY) 2024-04-23 – 2026-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help
¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 2025: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Fiscal Year 2024: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Outline of Research at the Start

このプロジェクトの目的は、高感度かつ高速で腐食性ガスを検知するための、ハイモード振動を用いて、 高周波と品質係数の両方を満たすダイヤモンド MEMS 共振器を開発することです。

URL: 

Published: 2024-04-24   Modified: 2024-07-03  

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