| Project/Area Number |
24KJ1413
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| Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 国内 |
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| Review Section |
Basic Section 14030:Applied plasma science-related
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
両角 潤樹 京都大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)
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| Project Period (FY) |
2024-04-23 – 2026-03-31
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| Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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| Budget Amount *help |
¥1,400,000 (Direct Cost: ¥1,400,000)
Fiscal Year 2025: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2024: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
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| Outline of Research at the Start |
宇宙電気推進や半導体デバイス製造プロセスといったプラズマの工学応用ではプラズマと固体との間に生じる物理的・化学的相互作用を理解することが重要である．本研究ではプラズマと固体材料を一括して捉える電気的インピーダンス分光（in-situ IS）法を基盤技術として確立し，プラズマ・固体材料の同時計測を通じて未だ明らかにされていないプラズマ・固体相互作用機構の解明に取り組む．回路モデルを用いてプラズマ・固体界面の電気伝導機構を表現し，回路モデル上のパラメータをIn-situ IS法により計測することで相互作用によるプラズマ特性・材料特性の変化を捉え，相互作用機構の物理モデルの構築に取り組む．
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