| Project/Area Number |
24KJ1949
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| Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 国内 |
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| Review Section |
Basic Section 20010:Mechanics and mechatronics-related
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| Research Institution | Keio University |
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Principal Investigator |
中島 利八郎 慶應義塾大学, 理工学研究科(矢上), 特別研究員(DC2)
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| Project Period (FY) |
2024-04-23 – 2026-03-31
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| Project Status |
Granted (Fiscal Year 2024)
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| Budget Amount *help |
¥1,600,000 (Direct Cost: ¥1,600,000)
Fiscal Year 2025: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2024: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
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| Outline of Research at the Start |
本研究では、レーザ加工技術を利用して形成した三次元微細構造を有するMEMS多軸力センサを提案する。提案するセンサは高出力レーザ照射による精密で微細なセンサ構造の加工と、低出力レーザ照射によるひずみを検知するセンサ素子形成によって一括で製作される。本研究においては、微細・精密なセンサ構造と高感度なセンサ素子を形成するためのレーザパラメータ及びレーザ加工プロセスを構築し、多軸方向の力を独立性良く計測できる、微細なセンサデバイス実現を目指す。
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