光周波数コムレーザ次元変換による計測・校正一体型完全６自由度精密絶対スケール創出

Research Project

Project/Area Number	25H00702
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Review Section	Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
Research Institution	Hokkaido University
Principal Investigator	清水裕樹北海道大学, 工学研究院, 教授 (70606384)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2029-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥46,540,000 (Direct Cost: ¥35,800,000、Indirect Cost: ¥10,740,000) Fiscal Year 2025: ¥16,510,000 (Direct Cost: ¥12,700,000、Indirect Cost: ¥3,810,000)
Keywords	超精密計測 / 生産工学 / 加工学 / 角度センサ / フェムト秒レーザ
Outline of Research at the Start	ナノメートル超級の加工精度実現が視野に入りつつある次世代の超精密ものづくりに必須となる超精密計測基盤確立を目的として，スケールの全6自由度絶対位置・角度を一括計測する新学理を構築する．精密計測の基本である「アッベの原理」を満たした形態で，単一測定点での3軸絶対位置および3軸絶対角を高精度一括検出するとともに，スケールのピッチ（目盛）校正も行う計測・校正一体型「その場自律校正体系」を確立し，完全6自由度精密絶対スケールを実現する．