表面活性化接合用高速原子ビーム源の微粒子排出メカニズムの解明とその長寿命化

• Project/Area Number: 25K01131
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 櫻井 淳平 名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (40345385) ; 岡 智絵美 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70823285)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2029-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥18,720,000 (Direct Cost: ¥14,400,000、Indirect Cost: ¥4,320,000); Fiscal Year 2028: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000); Fiscal Year 2027: ¥9,230,000 (Direct Cost: ¥7,100,000、Indirect Cost: ¥2,130,000); Fiscal Year 2026: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000); Fiscal Year 2025: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
• Keywords: 接合 / 表面活性化接合 / 高速原子ビーム / プラズマ / 微粒子

Outline of Research at the Start

本研究では，表面活性化接合に用いられる高速原子ビーム（以下，First Atom Beam: FAB）源の大きな問題点である微粒子の生成と排出メカニズムを解明するとともに，その内部のプラズマ生成状態を解析する．これによりFAB源からの微粒子の排出メカニズムに基づき，微粒子の排出を抑制した，より効率的で長寿命のFAB源は実現可能か？を研究課題の核心をなす学術的「問い」として，以下の研究を進める．
１）FAB源からの微粒子排出をインプロセスで観察，計測するシステムの確立
２）FAB源内の微粒子の生成と排出メカニズムの解明
３）従来と同等以上の性能で10倍以上長寿命，微粒子排出1/10以下のFAB源の実現