Flexible magnetic MEMS devices using highly corrosion-resistant and high-strength FePt thick film magnets

Research Project

Project/Area Number	25K01143
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 18040:Machine elements and tribology-related Basic Section 18030:Design engineering-related Sections That Are Subject to Joint Review: Basic Section18030:Design engineering-related , Basic Section18040:Machine elements and tribology-related
Research Institution	Institute of Science Tokyo
Principal Investigator	進士忠彦東京科学大学, 総合研究院, 教授 (60272720)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	中野正基長崎大学, 総合生産科学研究科(工学系), 教授 (20274623)
Project Period (FY)	2025-04-01 – 2028-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2025)
Budget Amount *help	¥18,850,000 (Direct Cost: ¥14,500,000、Indirect Cost: ¥4,350,000) Fiscal Year 2027: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000) Fiscal Year 2026: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000) Fiscal Year 2025: ¥11,310,000 (Direct Cost: ¥8,700,000、Indirect Cost: ¥2,610,000)
Keywords	MEMS / 厚膜 / FePt / 磁気特性 / 強度
Outline of Research at the Start	ネオジム磁石に準ずる残留磁束密度を有するバルクのFePt磁石は，引張強度はバルクNdFeB磁石に比べ一桁上，ポリシリコンと同等，ヤング率はシリコンよりも数分の１と，強くかつ柔軟な材料である．磁石と構造材料の両方の優れた特性を有するFePt厚膜磁石を活用した新しい磁気MEMSデバイスを提案・設計・試作し，機能をデモンストレーションすることで，FePt厚膜磁石の磁気MEMS用材料としての可能性や有用性を示すことを目的とする．