仮想的に多点標準温度を実現する多重周期パターンを用いたワンチップ熱放射源の開発

• Project/Area Number: 25K01249
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 21030:Measurement engineering-related
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: 清水 祐公子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ長 (30357222)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 尾藤 洋一 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 副研究部門長 (30357842) ; 立川 冴子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (70981405)
• Project Period (FY): 2025-04-01 – 2028-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2025)
• Budget Amount: ¥18,720,000 (Direct Cost: ¥14,400,000、Indirect Cost: ¥4,320,000); Fiscal Year 2027: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2026: ¥8,320,000 (Direct Cost: ¥6,400,000、Indirect Cost: ¥1,920,000); Fiscal Year 2025: ¥5,850,000 (Direct Cost: ¥4,500,000、Indirect Cost: ¥1,350,000)
• Keywords: 熱放射源 / 周期構造 / 放射スペクトル

Outline of Research at the Start

サーモグラフィをはじめとした放射温度計は、鉄鋼、自動車などの製造現場に加えて、感染症のパンデミック対応を行う医療現場など幅広い分野でニーズが高まっており、その信頼性担保の観点から実用的な校正技術の開発が求められている。現在、放射温度計の校正には、温度標準として複数の黒体炉が用いられているが、黒体炉は系が大きく現場校正には難点がある。本研究課題では、サーモグラフィをはじめとした放射温度計の現場校正のための国家標準にトレーサブルな手のひらサイズのワンチップ可搬型の高精度熱放射源（温度標準）の実現を目的として、半導体材料表面に周期パターンを加工した、これまでにない放射スペクトル制御素子を開発する。